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當前位置:首頁產品中心光學儀器及設備掃描電鏡MultiSEMZEISS蔡司超高速掃描電子顯微鏡

ZEISS蔡司超高速掃描電子顯微鏡
產品簡介:

充分運用多達91條并行電子束的采集速度,用納米分辨率對厘米級樣品進行成像。這款掃描電子顯微鏡設計用于全天候連續、可靠的運行。只需簡單設置高通量數據采集工作流,MultiSEM便能自動完成高襯度圖像采集。

產品型號:MultiSEM

更新時間:2026-03-12

廠商性質:代理商

訪 問 量 :634

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產品介紹

技術參數:

分辨率 所有電子束的平均分辨率 @ 1.0 kV、1.5 kV、3.0 kV ≤ 3.5 nm
分辨率的均勻性 @ 1.0 kV、1.5 kv、3.0 kv 和 12 um 間距 ≤ ±1 nm
著陸能量 范圍 1.0- 3.0 kv
電子束布局 電子束圖樣 六邊形
電子束數量 91
間距(單束光成像寬度) 12 μm 間距 /15 μm(可選)
間距均勻性 ≤ ±1%
觀察視野(FOV) 六邊形的長軸12 μm 或 15 μm(間距) 132 um / 165 um
電子束流 單個電子束 ≥ 570 pA
總電流 ≥ 52 nA
均勻性 ≤+10%
電子源 燈絲 肖特基發射源
燈絲電流穩定性 ≤ 1% 每小時
束閘   靜電束閘
工作距離   1.4 mm
檢測器   帶有高效多重檢測裝置的二次電子投影光學系統
掃描
掃描速率   最大為每束 20 MHZ,可提供不同的離散掃描速度
掃描模式   逐行掃描
像素尺寸 12 μm 間距的范圍 2 nm-20 nm
15 um 間距的范圍 2.5 nm- 20 nm
掃描布局   圖像拼接包含由 91 個以六邊形模式排列的子圖像
可調整相鄰掃描區域的重疊度
載物臺和樣品
載物臺 類型 步進載物臺
  可用行程范圍 xy/z 100/100/30 mm
  可重復性 XY ≤ ±3 μm
  放置時間 S 1.5 s
樣品要求 在 xY 中的最大尺寸 100 x 100 mm2
  最大高度 ≤ 30 mm
  最大平整度 ≤ 500 nm/100 μm(峰值到峰值)
  最大重量 ≤ 0.2 kg
樣品更換時間 帶有樣品交換室 ≤ 5 min
軟件
用戶界面 用于 MultiSEM 的 ZEN
應用編程接口(API) 用于自定義的工作流開發
Shuttle g Find 功能 從不同的成像方式(如光學顯微鏡或單光束掃描電子顯微鏡)可靠地轉移樣品坐標
性能監控   檢查所有相關的系統參數,如真空壓力或光學器件對準質量
平行軟件結構 分布式圖像采集
數據庫支持 用于工作流和數據管理
自動校準功能 自動聚焦、自動消像散和探測器均衡化等
圖像采集工作流
圖形化的實驗設置 基于感興趣區域選擇的圖像
自動切片檢測(可選) 適用于連續切片成像的快速工作流設置
互動要求 最多1小時 /24 小時專用于光束對準和校準的用戶互動
計算機硬件
主要控制器 ≥4核 CPU(64 位),≥32 GB DDR,≥1TB HD,最少2個1 Gbit 以太網接囗
主要控制器的操作系統 Windows”10(64位)
顯示屏 2 臺顯示器,1920x1080 像素,24"
圖像采集 12 臺計算機,在 19"機架上
圖像采集計算機 ≥4核 CPU(64位),氵32 GB DDR3,1 Gbit 以太網,10 Gbit 以太網與客戶網絡連接
到客戶網絡的數據傳輸速度 > 10 Gbit 以太網
真空系統
樣品室真空泵 渦輪分子泵(> 260 L/s);無油渦旋泵
樣品室操作真空度 ≤ 1x10-5mbar
監控 自動監控所有相關的真空度

 

 

性能特點:

  • 成像速度極快

  • 自動大區域圖像采集

  • 宏觀信息下的納米級細節

  • 低噪點高襯度圖像

  • 電子顯微鏡速度

多條電子束并行,為您帶來出色的總體成像速度,在4 nm像素大小下采集1 mm2的區域僅需幾分鐘。憑借每小時超過1 TB的出色采集速度,可在納米級分辨率下對大體積物體(> 1 mm3)進行成像。 優化的探測器會高效收集二次電子信號,為您在低噪點水平下提供高襯度圖像。

  • 以納米級分辨率對大型樣品進行成像

不必再為實現納米級分辨率而犧牲樣品尺寸。MultiSEM配備了一個覆蓋10 cm × 10 cm區域的樣品載具,并可全天候連續運行。現在,您可對整個樣品進行成像,獲取包含宏觀信息的精細圖像,探索您所需要的一切,探尋科學問題的答案。

  • 配備ZEN成像軟件的電子顯微鏡

通過將ZEN引入MultiSEM,我們將蔡司光學顯微鏡的標準化軟件帶入了電子顯微鏡的世界。以一種簡單直觀的方式操控MultiSEM:智能自動調節程序助您捕獲具有高分辨率和高質量的出色圖像。您可以快速設置復雜的自動圖像采集流程,將其用于您的樣品成像。

  • 多條電子束和探測器并行

MultiSEM運用了多條電子束(綠色:照明通路)和探測器并行。微調探測通路(紅色)能夠收集大量的二次電子(SE)用于成像。電子束呈六邊形排列,每條電子束在一個樣品位置執行同步掃描程序,以此獲得單個子圖像,再通過合并所有圖像拼接生成整幅圖像。并行的計算機設置程序用于快速記錄數據,以保證達到高的整體成像速度。在MultiSEM系統中,圖像采集和工作流程控制獨立。

 

應用范圍:

生物研究、生物樣品

 

 

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